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槽式碱抛光清洗设备
用于扩散后的硅片抛光刻蚀、清洗
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槽式RCA清洗设备
用于扩散后的硅片去绕镀、清洗
¥ 0.00
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镀膜返工片清洗设备
对镀膜不良片表面的膜质进行去膜腐蚀,清洗烘干
¥ 0.00
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链式去BSG/PSG设备
用于扩散后的硅片单面去BSG/PSG、清洗
¥ 0.00
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槽式制绒清洗设备
对硅片进行绒面腐蚀和清洗
¥ 0.00
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