槽式RCA清洗设备

设备名称：槽式RCA清洗设备

设备用途：用于扩散后的硅片去绕镀、清洗

工艺流程：去绕镀→后清洗→酸洗→后清洗→酸洗→预脱水→烘干 

设备产能：4篮/批，9600片/小时@100片/篮; 12000片/小时@120片/篮

碎片率：≤0.01%

Uptime：≥98.5%

设备特点：

1.工艺槽循环大流量设计，流量连续变频可调；

2.实时温控系统，工艺槽可实现±0.5℃的控温精度；

3.支持在线换液，具备一键排洗配功能；

4.化学品添加高精度传感器控制，添加量精度±1%

5.高效洁净烘干系统，烘干时间≤660S