晶圆SMF显影设备(8寸)

设备名称：晶圆SMF显影设备(8寸)

设备用途：对晶圆进行SMF显影，露出需要植球pad

工艺流程：上料→显影→清洗→吹烘干→下料

设备产能： 1篮25片/挂， 2个显影槽，150片/小时

碎片率：≤0.01%

Uptime：≥98.5%

设备特点：

1.上下料台，安装光电开关，检测工位状态，计算上下料次数/产能；

2.显影槽溢流槽，设计成斜坡，溢流出的药水快速汇入循环过滤系统，

   过滤-循环-显影 系统的药水，浓度均匀，温度恒定，显影效果佳。

3.显影槽底部，设计有板式加热器，溢流槽安装多回型冰水管，

   加上温度感应棒，程序精确调节加热功率，使药水温度可调、稳定。

4.显影槽底部药液进口处，加装喷盘组，加装紊流洞洞板，

   使槽内的药水快速搅拌均匀，显影效果更佳；

5.显影槽、QDR槽均设计摇摆机构组，摇摆机构托起挂篮，

   使晶圆在显影液中，上下抖动，加速显影完成。

6.设计热风烘干系统，显影清洗完成后的晶圆，能快速吹烘干。