链式去BSG/PSG设备

设备名称：链式去BSG/PSG设备

设备用途：用于扩散后的硅片单面去BSG/PSG、清洗

工艺流程：水膜保护→去BSG/PSG→水洗→烘干 

设备产能：13000片/小时@10道; 16000片/小时@12道

设备带速：4.5~5.0m/min

设备特点：

1.高精准带液滚轮，简单便捷的滚轮水平调节功能，保证传动面的水平，有效避免翻液及过刻；

2.精密精准控制水膜覆盖，避免硅片上表面过刻；

3.高效线性风刀，风量可独立调节，保证烘干效果。